Curado de Poliamidas (Polyimida) JTEKT Thermo Systems

Hay muchos procesos disponibles para los hornos de semiconductores de JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems). JTEKT Thermo Systems dispone de un laboratorio de aplicaciones en Tenri, Nara, Japón, y un centro de aplicaciones en Uppsala, Europa, operado en colaboración con la Universidad de Uppsala. Nuevas tecnologías de hornos y procesos se desarrollan en estrecha colaboración con nuestros clientes. JTEKT Thermo Systems también puede ayudar a los clientes a resolver problemas de proceso. En esta página discutimos el proceso de curado de polyimida, que es una de las especialidades de JTEKT Thermo Systems. JTEKT Thermo Systems es el especialista en el curado de polyimidas.

Aplicación y Química
Dispositivo

Química del curado de polyimida
Polyimida no fotosensible
Horno CLH
Polyimida Fotosensible

El material fotosensible presenta fuertes ventajas, como mayor resolución, menor susceptibilidad en procesos de litografía y mayor vida útil en almacenamiento. Mediante el uso de polyimidas fotosensibles, el número de pasos de proceso requeridos puede reducirse de 9 a 4. Esto representa un gran ahorro que puede justificar a corto plazo el mayor coste de adquisición de un horno vertical JTEKT Thermo Systems necesario para procesar polyimidas fotosensibles. Mediante técnicas de grabado directo se pueden ahorrar incluso tres pasos de proceso adicionales.

polyimida fotosensible
Control preciso del oxígeno para capas perfectas de polyimida

Para la fabricación de buenas capas de polyimida es imprescindible un contenido de oxígeno por debajo de 20 ppm durante el proceso. En nuestro horno JTEKT se pueden alcanzar niveles de oxígeno por debajo de 8 ppm. Estos bajos niveles de oxígeno no requieren, sin embargo, tecnología de vacío. JTEKT Thermo Systems ha desarrollado un horno atmosférico (considerablemente más económico) que cumple las necesidades del curado de polyimida y ofrece resultados excelentes. La medición del oxígeno se realiza mediante un sensor de oxígeno.

Por favor contáctenos si necesita más información sobre el curado de polyimida o sobre nuestros hornos. Se pueden realizar pruebas con nuestros hornos en nuestro laboratorio de aplicaciones en Tenri.